集成于2D掃描系統(tǒng)上，光譜共焦位移傳感器可以提供針對負(fù)載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測量厚度，整個過程需要使用一個傳感器從工件的一個側(cè)面測量。相對于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測量弧工件的厚度。高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對震動物件進(jìn)行測量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì)，避免測量過程中對震動物件造成干擾，同時可以對復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測量和分析。光譜共焦技術(shù)的研究和應(yīng)用將推動科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。徐匯區(qū)光譜共焦詳情

非球面中心偏差的測量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學(xué)傳感器)。文章基于自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù)，對高階非球面的中心偏差進(jìn)行了非接觸精密測量。光學(xué)加工人員根據(jù)測量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M(jìn)行拋光，使非球面透鏡的中心偏差滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求。由于非球面已加工到一定精度要求，因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數(shù)學(xué)模型計(jì)算被測環(huán)D帶的旋轉(zhuǎn)角度θ，即光譜共焦位移傳感器的工作角。昌平區(qū)光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好光譜共焦技術(shù)在航空航天領(lǐng)域可以用于航空發(fā)動機(jī)和航天器部件的精度檢測。

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進(jìn)行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進(jìn)行光譜分解得出波長的變化信息，再反解得出被測位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射，實(shí)現(xiàn)了波長和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實(shí)現(xiàn)波長的測量及位移反解輸出。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵、凹面反射鏡進(jìn)行光線的衍射和匯聚，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號采集實(shí)現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換， 通過解碼得到位移信息。

為了提高加工檢測效率，實(shí)現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標(biāo)測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實(shí)驗(yàn)測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境，建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標(biāo)準(zhǔn)臺階、表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊和曲面輪廓樣品進(jìn)行了測量，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)具有較高的測量精度和重復(fù)性，粗糙度參數(shù)Ｒa的測量重復(fù)性為0.0026μm，在優(yōu)化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應(yīng)用前景。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能，精度可以達(dá)到納米級別。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動平臺上進(jìn)行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力。崇明區(qū)光譜共焦供應(yīng)

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。徐匯區(qū)光譜共焦詳情

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達(dá) nm 量級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低，允許被測表面有更大的傾斜角，測量速度快，實(shí)時性高，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器，大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域。本文在論述光譜共焦技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測試中的典型應(yīng)用，探討共焦技術(shù)在未來精密測量的進(jìn)一步應(yīng)用，展望其發(fā)展前景。徐匯區(qū)光譜共焦詳情